Реактивното магнетронно разпрашване е зряла техника за нанасяне на тънък комбиниран слой върху широка гама от субстрати като горен слой или като междинен слой в многослойно покритие. Обхватът на „тънкия“варира от няколко нанометра до няколко микрометра.
Защо магнетронът разпръсква?
Магнетронното разпрашване е процесът на сблъсък между падащи частици и мишени … Магнетронното разпрашване увеличава плътността на плазмата чрез въвеждане на магнитно поле върху повърхността на целевия катод и използване на ограниченията на магнитното поле върху заредените частици, за да увеличи скоростта на разпръскване.
Какво се разбира под реактивно разпрашване?
Реактивното разпрашване е процес, който позволява на съединенията да се отлагат чрез въвеждане на реактивен газ (обикновено кислород или азот) в плазмата, който обикновено се образува от инертен газ като напр. аргон (най-често срещаният), ксенон или криптон.
Как работи магнетронното разпръскване?
Магнетронното разпрашване е технология за отлагане, включваща газообразна плазма, която се генерира и се ограничава в пространство, съдържащо материала, който трябва да бъде отложен – „мишената“. … Тези сблъсъци причиняват електростатично отблъскване, което "избива" електрони от разпръскващите газови атоми, причинявайки йонизация.
Защо RF разпръсква?
RF или радиочестотно разпрашване е техниката, включваща редуване на електрическия потенциал на тока във вакуумната среда при радиочестоти, за да се избегне натрупване на заряд върху определени видове разпрашителни целеви материали, което с течение на времето може да доведе до образуване на дъга в плазмата, която бълва капчици…
